复杂微结构偏轴刚度的求解

作     者：刘妤 郭长文 王国超 LIU Yu;GUO ChangWen;WANG GuoChao

作者机构：重庆理工大学汽车学院重庆400050 重庆市汽车零部件及其检测技术重点实验室重庆400050 重庆市汽车动力系统及控制工程技术研究中心重庆400050 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2011年第33卷第2期

页      码：183-188页

摘      要：微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数。目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式,为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础。推导中全面考虑各变形梁的影响,所以理论计算值与仿真值吻合。推广应用算例表明,该方法具有普遍意义,可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析。

主 题 词：微机电系统 加速度传感器 微结构 刚度 力法 功能原理 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.16579/j.issn.1001.9669.2011.02.018

馆 藏 号：203587333...