U形阵列式微机械悬臂梁的研究

作     者：于晓梅 张大成 王丛舜 李婷 阮勇 

作者机构：北京大学微电子学研究所北京100871 

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 70 13 ) 教育部留学回国人员科研启动资金 博士后基金资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2004年第53卷第1期

页      码：31-36页

摘      要：为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂梁 .测量悬臂梁的噪声及灵敏度 ,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数 ,分别为 3× 10 - 3和 2 7.在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽条件下 ,计算悬臂梁的最小可探测位移为 0 5nm .同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨 .

主 题 词：悬臂梁 分辨率 灵敏度 噪声 最小可探测位移 Hooge因子 扫描力显微镜 力敏电阻 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.53.31

馆 藏 号：203588365...