用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究

作     者：方杰 刘泽文 陈忠民 刘理天 李志坚 Fang Jie;Liu Zewen;Chen Zhongmin;Liu Litian;Li Zhijian

作者机构：清华大学北京100084 清华大学北京100084 清华大学北京100084 清华大学北京100084 清华大学北京100084 

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033105) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：173-175页

摘      要：介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作.该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:一3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB.基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型,实现了对LPF实际性能的等效电路仿真,同时进行了版图和结构的验证.利用MEMS工艺实现的低通滤波器,其一3dB带宽和通带内插入损耗分别为2.925GHz和1.2dB(在1GHz下),制作工艺与标准CMOS工艺兼容.

主 题 词：射频 MEMS 无源滤波器 集总模型 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.059

馆 藏 号：203592452...