球形和圆柱形系统内分子流场分布的对比研究

作     者：李旺奎 董长昆 

作者机构：兰州物理研究所 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：1991年第22卷第1期

页      码：37-44页

摘      要：本文利用蒙特卡罗方法模拟了球形和柱形系统中分子流场的分布,给出了分布曲线。认为用柱形系统代替球形系统进行校准或测量时,若要求系统误差较小,有效测量区为柱形系统赤道附近、高约为柱高1/5的区域。通过对动态流量法测量系统的分析,得出采用测流量法比前级测压强法带来的系统误差要小的结论。对将公式P=Q/C_2和P=C_1P_1/(C_1+C_2)分别用于球形和柱形测量系统时,给出了修正系数。研究结果为多种真空系统的设计和应用提供了可靠的依据。

主 题 词：测量系统 流场分布 动态流量 测量区 余弦定律 蒙特卡罗方法 测试带 圆柱形 分子流 流导 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.1991.01.009

馆 藏 号：203592914...