利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究

作     者：杨晓飞 韩昌元 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130022 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2004年第30卷第5期

页      码：532-534页

摘      要：通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象,并结合计算机辅助装调技术,确定在检测过程中相对敏感的自由度,然后控制这些量,使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合,在Zygo相位干涉仪上测得最终结果。在λ=632.8nm时,中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ,0.037λ,0.032λ。检测结果,达到预期目的。

主 题 词：离轴非球面 计算机辅助装调 零位补偿法 灵敏度矩阵 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.2004.05.004

馆 藏 号：203593009...