SZY－A智能离子泵控制器研制

作     者：曹德福 陈建华 何雪海 仇华兴 马兴华 

作者机构：上海冶金所上海真空泵厂中科院高能物理所 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：1994年第31卷第4期

页      码：18-21,6页

摘      要：本文介绍了用ＭＣ－５１单片机及其外国电路组成离子泵智能控制器的特点，主要技术性能，设计指导思想，系统的软硬件设计及对整机可靠性所采取的技术措施等。

主 题 词：离子泵 控制器 研制 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.1994.04.004

馆 藏 号：203593283...