基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计

作     者：张诚 王金海 陈才和 张波 岳泉 ZHANG Cheng;WANG Jin-hai;CHEN Cai-he;ZHANG Bo;YUE Quan

作者机构：天津工业大学信息与通信工程学院 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(49974010) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第2期

页      码：432-435页

摘      要：介绍了一种基于Labview的消光式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量。研究并推导出消光式椭偏仪光学系统的数学模型及椭偏参数的计算公式。在理论研究的基础上,基于虚拟仪器设计技术,开发了信号采集、传输电路和编写测量软件,设计了椭偏仪的自动控制测量系统。通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100,折射率误差小于0.01。

主 题 词：椭偏仪 消光法 虚拟仪器 Labview 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 0811[工学-水利类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.02.041

馆 藏 号：203593623...