一种新型的在线式微波功率传感器

作     者：韩磊 黄庆安 廖小平 Han Lei;Huang Qing'an;Liao Xiaoping

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60676043) 装备预先研究基金(批准号:51308050202)资助项目~~ 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2007年第28卷第7期

页      码：1144-1148页

摘      要：提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10.4μV/mW.

主 题 词：微波功率 功率传感器 在线式 MEMS GaAs MMIC工艺 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-4177.2007.07.029

馆 藏 号：203593970...