机械科学的新边疆──微机电一体化技术

作     者：刘强 郑莹娜 陈益民 李定华 

作者机构：广东工业大学 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：1998年第5期

页      码：53-54页

摘      要：微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。

主 题 词：微机电一体化 微/纳米技术 超微细加工 机械学 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203594899...