低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析

作     者：朱目成 夏季 马德毅 刘强 孟念湘 徐培君 

作者机构：西南工学院 中国工程物理研究院四所504所 

基　　金：中国工程物理研究院院外科学基金 

出 版 物：《西南工学院学报》 (Journal of Southwest China Institute of Technology)

年 卷 期：1999年第14卷第1期

页      码：1-6页

摘      要：本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构，通过理论分析与计算，说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。

主 题 词：加速度传感器 压阻式传感器 硅 低g值 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203595243...