不锈钢基压电厚膜俘能器的制作与性能测试

作     者：殷小林 董维杰 王大志 杨淑 YIN Xiaolin;DONG Weijie;WANG Dazhi;YANG Shu

作者机构：大连理工大学电子科学与技术学院辽宁大连116023 辽宁省集成电路重点实验室辽宁大连116023 大连理工大学机械工程学院辽宁大连116023 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61340052) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2016年第38卷第2期

页      码：203-206页

摘      要：由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器。304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极。不锈钢基底厚为30μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5μm厚的压电材料,通过对压电材料XRD表征,得到了在(110)晶向择优取向的钙钛矿结构。设计了长20mm、宽5mm压电悬臂梁结构俘能器。实验表明,压电俘能器的谐振频率为81Hz,当加速度为0.69 g(g=9.8m/s2)时,输出开路电压峰-峰值为1.3V;负载电阻为260kΩ时,输出功率最大(为0.758μW),对应的功率密度为3.19mW·cm-3·g-2。

主 题 词：压电俘能器 雾化沉积 悬臂梁 柔性基底 不锈钢 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2016.02.007

馆 藏 号：203597838...