亚波长光栅用于实现宽光谱消色散1/4波片的研究

作     者：伊德尔 严瑛白 谭峭峰 刘海涛 金国藩 

作者机构：清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基　　金：国家重点基础研究 973项目 (G19990 3 3 0 ) 国家高技术项目 863 80 4 2资助 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2003年第30卷第5期

页      码：405-408页

摘      要：基于严格耦合波理论 ,分析了共振区域矩形位相光栅的衍射特性 :位相延迟与光栅周期、占空比、槽深的关系 ,并设计出在 40 0～ 80 0nm范围内的消色散 1/4波片光栅 ,可以实现较为平坦的衍射效率和位相延迟曲线 ,其中位相延迟可保持在 90°左右 ,最大偏差小于 9% ,达到甚至优于普通二元复合消色散波片。通过对加工及安装误差的讨论 ,得到了影响消色散波片光栅性能的主要加工误差是槽深误差和占空比误差。

主 题 词：光电子学 亚波长光栅 严格耦合波理论 消色散波片 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2003.05.006

馆 藏 号：203598354...