一种新型的硅基底MEMS微带天线

作     者：白芮欣 刘建霞 蔡冬梅 BAI Ruixin;LIU Jianxia;CAI Dongmei

作者机构：太原理工大学信息工程学院山西太原030024 

基　　金：山西省自然科学基金资助项目(No.2013011019-5) 微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目(No.KFS4) 

出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components And Materials)

年 卷 期：2013年第32卷第12期

页      码：56-58页

摘      要：针对硅基底微带天线的缺陷,结合MEMS技术的体微加工技术和表面微加工技术对基底材料进行处理,以达到改善天线性能的目标。设计了一种MEMS层叠式硅基底与介质型光子晶体相结合的新型微带天线。最后利用HFSS14.0对该结构进行仿真。结果表明,该结构天线的相对带宽达到23%且天线的回波损耗为–41 dB,相对于普通硅基底天线的相对带宽4%和回波损耗–14.5 dB有了明显改善。

主 题 词：MEMS技术 体微加工技术 表面微加工技术 微带天线 光子晶体 带宽 回波损耗 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2028.2013.12.014

馆 藏 号：203601993...