谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计

作     者：任泽龙 刘松 梁亨茂 李宝清 熊斌 REN Ze-long;LIU Song;LIANG Heng-mao;LI Bao-qing;XIONG Bin

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51577186) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2019年第38卷第4期

页      码：86-88,92页

摘      要：介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度,其非线性度为0. 46%。

主 题 词：谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器 相干解调 数字锁相放大器 正交解调 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2019)04-0086-03

馆 藏 号：203607134...