基于CuO/CNT气敏膜的无线丙酮气体传感器

作     者：周天浩 谭秋林 郭涛 郭倩倩 Zhou Tianhao;Tan Qiulin;Guo Tao;Guo Qianqian

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61471324) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2019年第56卷第4期

页      码：285-289页

摘      要：将碳纳米管(CNT)粉末以及氧化铜(CuO)粉末掺杂作为传感器的气敏材料,并通过旋涂的方式涂覆于敏感线圈。设计并简化了传感器的结构,通过丝网印刷工艺在基底上制备线圈。利用线圈的寄生电容与线圈电感形成LCR回路,分析了传感器LC无线耦合的原理以及混合气敏膜吸附丙酮气体的原理,将性质稳定的Al2O3陶瓷作为传感器的基底。在常温下对丙酮气体的体积分数进行检测,谐振频率的改变反映丙酮气体体积分数的变化。结果表明,所制得的传感器具有良好的响应和线性度及优良的稳定性,传感器的最低检测极限为5×10-5。

主 题 词：气体传感器 碳纳米管(CNT) 丝网印刷 氧化铜 无线无源 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.006

馆 藏 号：203607134...