结合激光准直的二维转角动态测量系统

作     者：楼志斌 赵辉 刘权 郑超 陶卫 LOU Zhi-bin;ZHAO Hui;LIU Quan;ZHENG Chao;TAO Wei

作者机构：上海科学院上海201203 上海交通大学仪器科学与工程系上海200240 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.U1637108) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2019年第27卷第3期

页      码：561-568页

摘      要：为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法。首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件。接着,设计测量系统和各组成模块,根据测量要求对系统中的关键模块进行设计和优化。然后,具体设计系统中的测量算法,完成测量模型建立。最后,在±2°范围内进行实验测试和分析。实验结果表明:系统可动态测量,稳定性好,测量重复性误差为1μrad,X轴非线性误差为1.8%,Y轴非线性误差为1.7%,动态带载响应频率在±0.01°内优于200Hz,基本满足二维转角测量的高精度、高重复性、高稳定性的要求。

主 题 词：激光准直 二维转角 动态测量 光斑位置 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/OPE.20192703.0561

馆 藏 号：203607263...