超高加速度冲击下微弹性梁限位块参数设计

作     者：姜涛 马宁 倪雷 Jiang Tao;Ma Ning;Ni Lei

作者机构：同济大学机械工程学院上海201804 

基　　金：上海自然科学基金资助项目(16ZR1438800) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2019年第56卷第4期

页      码：290-295页

摘      要：针对20 000g超高加速度冲击下微电子机械系统(MEMS)陀螺微弹性梁限位块的参数合理设计,通过建立微弹性梁-限位块碰撞系统动力学方程,分析限位刚度和限位距对弹性梁冲击响应的影响以及弹性梁和限位块碰撞产生的二次冲击力,得出限位块限位刚度和限位距的设计原则,进而确定具体的参数范围,并利用有限元(FEA)仿真验证该设计原则的正确性。结果表明:在满足限位要求的前提下,限位距取值越小对提高微弹性梁的抗冲击性能越有利,同时合理的限位刚度可以有效抑制二次冲击力,保证碰撞系统的稳定性。限位参数设计方法对超高加速度冲击环境下MEMS陀螺设计有一定参考价值。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺 微弹性梁 限位块 碰撞系统 限位刚度 限位距 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 081105[081105] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.007

馆 藏 号：203607410...