静电悬浮六轴微加速度计单边支承起支控制

作     者：肖奇军 崔峰 罗忠辉 Xiao Qijun;Cui Feng;Luo Zhonghui

作者机构：广东肇庆学院电子与电气工程学院广州肇庆526061 上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200030 广东技术师范学院机电工程学院广州510665 

基　　金：广东省自然科学基金资助项目(2016A030313846) 广东省教育厅特色创新项目(2017KTSCX197 2015KTSCX157) 肇庆市高校重点学科电子科学与技术资助项目 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2019年第56卷第4期

页      码：296-302页

摘      要：给出了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的静电悬浮微加速度计(MESA),其主要由上定子、质量块和下定子组成。采用力平衡原理和力矩平衡原理可同时测量三轴线加速度和三轴角加速度,即对质量块实行闭环控制使质量块保持在零位,输出控制电压反映壳体输入加速度的大小。设计出基于混合微制造技术的微加速度计结构和加工工艺,制造出静电悬浮微加速度计原型机,进行静电悬浮六轴微加速度计的控制和检测方案设计,为了克服质量块远离平衡位置的非线性特性,根据非线性的静电力模型设计出无预载电压的单边支承控制器。通过实验结果可以看出,采用无预载电压的单边支承控制器实现起支时,超调量为12%,调节时间为16.6 ms,表现出良好的动态性能和全局稳定性,证明了该控制方法的准确性和有效性。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 静电悬浮 微加速度计 起支控制 单边支承 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.008

馆 藏 号：203607415...