用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究

作     者：陈爽 朱名铨 邓进军 马炳和 姜澄宇 Chen Shuang;Zhu Mingquan;Deng Jinjun;Ma Binghe;Jiang Chengyu

作者机构：西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第z1期

页      码：148-150页

摘      要：基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围.

主 题 词：分离点 表面压力分布 微型压力传感器阵列 柔性衬底 背引线 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.050

馆 藏 号：203607866...