基于LS空间的IC真实缺陷图像的分割

作     者：王俊平 郝跃 WANG Jun-ping;HAO Yue

作者机构：西安电子科技大学微电子研究所 

基　　金：国家863高科技计划支持研究(No.2003AA1Z1630) 北京大学信息处理国家重点实验室开放课题基金(No.J62103010026) 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：2005年第33卷第5期

页      码：954-956页

摘      要：　在对集成电路(IC)真实缺陷进行分类与识别时,IC缺陷图像分割是非常重要的一步.本文提出一种新的IC缺陷图像分割方法.该方法首先将IC缺陷图像由RGB空间转换到HLS空间,然后根据IC缺陷图像背景像素的L及S值的分布,设计LS空间上的分段线性判别函数及聚类准则,最后由聚类准则完成IC真实缺陷图像的分割.实验结果表明,本文方法不仅可分割背景一致的IC图像,而且对背景不一致的图像也可获得满意的分割效果.从而为真实缺陷的分类与识别奠定了可靠基础.

主 题 词：真实缺陷 图像分割 明度 饱和度 LS空间聚类 分段线性判别函数 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0372-2112.2005.05.040

馆 藏 号：203608727...