微型热敏传感器系统动态特性理论研究

作     者：刘奎 苑伟政 马炳和 邓进军 姜澄宇 Liu Kui;Yuan Weizheng;Ma Binghe;Deng Jinjun;Jiang Chengyu

作者机构：西北工业大学微/纳米系统实验室西安710072 

基　　金：国家自然科学基金(90305017) 航空基金(04153074 03153066)资助项目 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2006年第27卷第6期

页      码：648-652页

摘      要：通过分析用于检测流体参数的微型热敏传感器的工作原理,针对恒流和恒温驱动电路驱动的此类传感器组成的系统,提出了对微型热敏传感器系统动态特性分析的依据和计算设计方法。并且通过对一阶恒流电路驱动传感器系统的时间常数和二阶恒温电路驱动传感器系统的响应频率的计算和分析,得到基于M EM S技术的热敏传感器系统的时域、频域参数的计算和设计依据,为此类传感器的器件设计和性能分析提供了重要的参考依据。

主 题 词：热敏传感器 微机电系统 驱动电路 时间常数 响应频率 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2006.06.022

馆 藏 号：203609074...