外差椭偏纳米薄膜测量技术

作     者：邓元龙 吴玉斌 陈可简 朱勤 徐毅 

作者机构：深圳大学工程技术学院 中国计量科学研究院 

基　　金：广东省自然科学基金 

出 版 物：《深圳大学学报（理工版）》 (Journal of Shenzhen University(Science and Engineering))

年 卷 期：1998年第15卷第2期

页      码：1-6页

摘      要：提出一种可同时测量膜厚和折射率的新型快速高灵敏度薄膜测量方法——外差椭偏纳米薄膜测量技术，并给出了理论分析与设计、实验结果和误差分析．采用弱磁场塞曼激光器（输出４０ｋＨｚ的拍频信号），用相位直接比较法得到０．１８°分辨率，是迄今结构最简单的新型椭偏仪设计．测量过程高速全自动化，适合于现场连续测量．理论上可达到较高的测量精度．

主 题 词：薄膜 外差技术 纳米测量 椭偏仪 塞曼激光 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

馆 藏 号：203610251...