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纳米级微动试验台的隔振设计研究

纳米级微动试验台的隔振设计研究

作     者:刘平成 杨晓红 吴晓琳 杨圣 

作者机构:盐城工学院机械工程系江苏盐城224003 南京航空航天大学 

基  金:国家自然科学基金资助项目!(598750 38) 

出 版 物:《机械设计》 (Journal of Machine Design)

年 卷 期:2000年第17卷第9期

页      码:19-21页

摘      要:通过二维隔振系统的力学分析 ,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结论 ,指导多自由度隔振系统的设计 ,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。仿真实验表明 ,该系统具有良好的隔振效果。此隔振设计方法对超精密机床。

主 题 词:纳米级微动试验台 传递率 隔振系统 动力学 设计 

学科分类:12[管理学] 083002[083002] 1204[管理学-公共管理类] 0830[工学-生物工程类] 120402[120402] 08[工学] 080203[080203] 0837[0837] 0802[工学-机械学] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1001-2354.2000.09.007

馆 藏 号:203611892...

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