少驱动单元数的柱面变形反射镜设计和测试

作     者：解昆 刘文广 魏斌斌 周琼 习锋杰 Xie Kun;Liu Wenguang;Wei Binbin;Zhou Qiong;Xi Fengjie

作者机构：国防科学技术大学光电科学与工程学院湖南长沙410073 

基　　金：国家自然科学基金(61378065) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2015年第35卷第A02期

页      码：198-204页

摘      要：对于高能激光输出波前中的低阶像差，可以使用柱面反射镜与球面反射镜组合对其中的离焦和像散进行补偿。根据悬臂梁理论设计了一种变形反射镜，并通过有限元仿真，对变形镜结构和各尺寸参数进行了优化，镜面行程达到19μm，残差峰谷值小于1．4μm。依据优化设计结果制作了柱面变形镜样件，使用菲索干涉仪对柱面变形镜的面型精度及压电陶瓷驱动电压与形变量的关系进行了测试。测试结果表明，通过控制压电驱动器的位移，这一结构的变形镜能够产生所需的抛物柱面，行程达到11μm。

主 题 词：光学设计 自适应光学 变形反射镜 低阶像差 补偿 柱面 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201535.s222001

馆 藏 号：203613079...