ZnO薄膜光学常数测量

作     者：傅竹西 林碧霞 何一平 廖桂红 

作者机构：中国科学院结构分析重点实验室 中国科学技术大学物理系安徽合肥230026 

基　　金：国家自然科学基金(10174072 50142016) 国家科技部快速反应基金(584) 

出 版 物：《发光学报》 (Chinese Journal of Luminescence)

年 卷 期：2004年第25卷第2期

页      码：159-162页

摘      要：利用Kramers-Kronig方法(K-K方法)测量了ZnO薄膜的复分电常数和复折射率(折射率和消光系数)。为了满足K-K方法所要求的条件,光源发出的光束通过一个特殊设计的中间带孔的反射镜垂直投射到ZnO薄膜表面,在ZnO薄膜表面产生的反射光穿过反射镜中间的小孔进入单色仪,从而测量出正入射情况下ZnO薄膜的反射光谱。对有限波段下测量的数据经合理的外推后,得出全波段的薄膜反射谱,然后利用K-K方法计算出ZnO薄膜的复分电常数和复折射率。实验结果表明,氧化锌薄膜在可见光范围内的折射率近似为一常数3.5;在430 nm附近出现折射率最大值,而在短波长范围所对应的折射率大大降低,其值在0.5～2.5之间起伏波动。

主 题 词：氧化锌薄膜 光学常数 反射光谱 K-K关系 单色仪 光电子材料 半导体材料 

学科分类：080903[080903] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-7032.2004.02.011

馆 藏 号：203617457...