小F数标准球波面透镜组的F′C重合误差分析

作     者：高志山 

作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094 

基　　金：国防技术基础资助C类项目 (JB182 0 0 1C0 0 2 )资助课题 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2004年第31卷第7期

页      码：793-796页

摘      要：标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具 ,它能产生 P V值优于λ/2 0 (λ=0 6 32 8μm)的标准球面波 ,透镜组中末球面为标准球面。其使用特点要求透镜组的焦点 F′与末面球心C重合 ;如果存在重合误差 ,则用于球面面形检验时会引入测量系统误差。推导分析了F′C的允许重合误差与透镜组F数等参量的关系 ,运用ZEMAX光学设计软件模拟给出系列小F数标准球波面透镜组允许的F′C重合误差 ,并设计实验测试方案 ,得到反映标准球波面透镜组F′C重合误差的干涉图 ,它们的波像差均小于 5λ。由理论分析与实验测试结果可知 ,F数很小 (如F/1 5 ,F/0 75 )的标准球面透镜组 ,F′C重合误差小于 0 0 3mm ,甚至达到微米量级。

主 题 词：光学技术与仪器 误差分析 光学设计 球波面 干涉仪 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2004.07.007

馆 藏 号：203618020...