一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作

作     者：芦琦 陈翔 肖丽君 陈迪 LU Qi,CHEN Xiang,XIAO Li-jun,CHEN Di (Institute of Micro and Nano Science and Technology,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240 China)

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(20905047) 

出 版 物：《上海交通大学学报》 (Journal of Shanghai Jiaotong University)

年 卷 期：2010年第44卷第11期

页      码：1519-1523页

摘      要：根据微流量传感器测热式原理,利用Comsol多物理场模拟仿真软件,对微流量传感器进行模拟仿真,分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上,设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极,SU-8负光刻胶直接制作流道,将该负光刻胶与聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行键合封装.最后,对该微流量传感器进行了流速测试.

主 题 词：流量传感器 负光刻胶 微流体 测热式原理 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.16183/j.cnki.jsjtu.2010.11.009

馆 藏 号：203618843...