微波等离子体激发用大功率微波模式转换器

作     者：苏卫中 禹庆荣 杨彬 陈国钦 SU Weizhong;YU Qingrong;YANG Bing;CHEN Guoqin

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2019年第48卷第2期

页      码：31-36页

摘      要：设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能。结果表明,导电氧化的加工件性能要明显优于老化件,其低功率冷测传输效率可达99.9%,返回损耗降低至-29.12 dB,大功率热测实验表明,采用导电氧化工艺的模式转换器镀膜质量要整体优于老化件的镀膜质量。

主 题 词：大功率模式转换器 微波等离子体源 传输效率 导电氧化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.009

馆 藏 号：203619026...