四光路透镜成像系统研究

作     者：许世军 任小玲 

作者机构：西安工业学院数理系西安710032 西安工程科技学院信息控制系西安710048 

基　　金：兵器工业科研基金项目 (编号 2 2 96 82 - 3) 

出 版 物：《物理实验》 (Physics Experimentation)

年 卷 期：2002年第22卷第10期

页      码：12-16页

摘      要：针对现有膜厚监控系统的双平行光路系统和监测光直接照射单色仪入射狭缝的结构 ,提出了四光路透镜成像系统 ,同时采用光纤传光 .实验表明它提高了膜厚监控的稳定性和精度 ,并有较高的性能价格比 .此外从理论上对多光路透镜成像系统的设计和调校进行了定量分析 .

主 题 词：四光路透镜成像系统 光纤 光路 调校 设计 光学薄膜 膜厚监控系统 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.19655/j.cnki.1005-4642.2002.10.004

馆 藏 号：203619192...