微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展

作     者：黄建良 汪建华 满卫东 HUANG Jian-liang;WANG Jian-hua;MAN Wei-dong

作者机构：武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室湖北武汉430073 

基　　金：国家计委新材料领域重大专项项目(475号)资助 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2008年第14卷第1期

页      码：1-5页

摘      要：综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状,构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步分析研究。

主 题 词：金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 070304[070304] 0817[工学-轻工类] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7086.2008.01.001

馆 藏 号：203619971...