光学系统设计中的光阑应用分析

作     者：高爱梅 李星辰 王婷婷 GAO Aimei;LI Xingchen;WANG Tingting

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2019年第48卷第2期

页      码：24-27页

摘      要：基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛。光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,一般分为孔径光阑、视场光阑、渐晕光阑和消杂散光阑;结合光学系统设计案例,深入分析了各类光阑对光学系统的影响。

主 题 词：光阑 孔径 视场 渐晕 杂光 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.007

馆 藏 号：203622281...