非高斯束多功能电子束曝光机的电子光柱体设计

作     者：吴亚军 王建琨 

作者机构：山东工业大学电机工程系 

出 版 物：《山东工业大学学报》 (Journal of Shandong University(Engineering Science))

年 卷 期：1989年第19卷第2期

页      码：23-27页

摘      要：讨论目前电子束曝光机的基本结构和复合聚焦偏转系统的基本原理,并根据这一原理对已有的复合系统如MOL,VAL,PFDS等进行了研究。推导了双通道复合系统的象差公式,提出了设计广义变轴复合系统的方法。对其构成方式进行了讨论,具体设计出一个广义变轴复合系统。并推导了双通道复合系统的偏转场计算公式,设计了一个双静电偏转场双物镜复合系统。

主 题 词：电子束 曝光机 电子光柱体 计算机 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203623986...