管路系统

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2006年第23卷第5期

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摘      要：Poly-Flo单元式双重防泄漏管路系统采取挤压式设计，它由聚丙烯和高密度聚乙烯材料构成。预装配的专利O型密封圈使得整个系统可以用螺栓固定在原位。这种系统适用于半导体工厂中用于处理硫酸、硝酸和氢氟酸的湿法设备。

主 题 词：管路系统 高密度聚乙烯 O型密封圈 半导体工厂 材料构成 挤压式 防泄漏 单元式 聚丙烯 预装配 

学科分类：08[工学] 082402[082402] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0824[工学-林业工程类] 

馆 藏 号：203624453...