硅压力传感器CAD技术的研究版图设计系统

作     者：吴静高涛 

作者机构：锦州医学院 辽宁工学院 

出 版 物：《辽宁工学院学报》 (Journal of Liaoning Institute of Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：1996年第16卷第3期

页      码：38-40页

摘      要：介绍在ＩＢＭ及其兼容系列微型机上，实现硅压力传感器版图ＣＡＤ软件的设计方法。该软件可使版图自动生成，并可代替人工进行绘图。

主 题 词：硅压力传感器 CAD 版图 压力传感器 传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.15916/j.issn1674-3261.1996.03.010

馆 藏 号：203624546...