基于La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3的微结构乙醇气体传感器的研制

作     者：刘丽 张彤 漆奇 陈维友 徐宝琨 Liu Li;Zhang Tong;Qi Qi;Chen Weiyou;Xu Baokun

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60104006) 吉林省科技局(批准号:20060528)资助项目~~ 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2007年第28卷第4期

页      码：610-613页

摘      要：以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.

主 题 词：La0.7Sr0.3FeO3 纳米材料 微结构 低功耗 乙醇 气体传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-4177.2007.04.026

馆 藏 号：203624721...