电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析

作     者：张慧 宋光德 官志坚 靳世久 ZHANG Hui;SONG Guang-de;GUAN Zhi-jian;JIN Shi-jiu

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助(60534050) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第6期

页      码：951-953页

摘      要：介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理,通过理论计算和有限元仿真分析,讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响,为传感器的设计和制作提供了依据。

主 题 词：电容式微加工超声传感器(cMUT) 塌陷电压 谐振频率 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.06.011

馆 藏 号：203625071...