氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性研究

作     者：张晶心 刘卫国 葛少博 周顺 ZHANG Jingxin;LIU Weiguo;GE Shaobo;ZHOU Shun

作者机构：西安工业大学光电工程学院/陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 

基　　金：国家基础研究项目(JCKY2016208A002) 先进制造项目(41423020111) 

出 版 物：《西安工业大学学报》 (Journal of Xi’an Technological University)

年 卷 期：2019年第39卷第2期

页      码：145-151页

摘      要：为研究氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性,使用单点金刚石切削制备微金字塔结构,结合纳米压印技术制备氮化硅微金字塔结构薄膜,对其透射率与散射进行检测。通过对底面角度可变的氮化硅微金字塔结构化薄膜的近场光场分布展开仿真分析与实验研究,基于射线追踪方法建立数值仿真模型分析结构化薄膜的近场光场分布。研究结果表明:通过调整切削方向实现对微金字塔结构阵列底面角度0°～90°的控制,检测结果证明薄膜光学微金字塔结构化薄膜可以实现对光束传播方向与能量分布的调制,改变微金字塔结构的底面角度,可以让光波按照底角的设计传播,这一现象为微光电系统的光路设计提供了更广的自由度。

主 题 词：微金字塔 结构化薄膜 减反射 纳米压印 光束调制 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.16185/j.jxatu.edu.cn.2019.02.004

馆 藏 号：203625909...