一种新型微梁阵列传感器设计及实现

作     者：薛长国 张广平 张青川 伍小平 XUE Chang-guo;ZHANG Guang-ping;ZHANG Qing-chuan;WU Xiao-ping

作者机构：中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室合肥230027 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10627201 10732080 10472112和20674078)资助的课题 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2011年第26卷第1期

页      码：21-25页

摘      要：微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点,仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展。本文针对间距为250μm的商品化微梁阵列,提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路。利用高精度位移平台调节激光器空间位置,使光束实现微距离上平行,并分别照射在阵列梁的相邻微梁上。用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测,实现系统传感功能。实验验证该光路设计简单易行,针对这一方案实现了两个微梁的信号分离。在微梁上修饰对应的抗体,系统就可以对其抗原行检测。该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路。

主 题 词：微机电系统 微悬臂梁阵列 生化传感器 设计与实现 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203626246...