集成电路工艺仿真系统TSUPREM-Ⅳ

作     者：李惠军 Li Huijun

作者机构：山东工业大学电子工程系济南250061 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2000年第25卷第3期

页      码：34-36,63页

摘      要：SUPREM系列集成电路工艺模拟系统是当今国际上用户群最大的集成电路工艺计算机辅助设计系统。本文介绍该系列系统的最新版本 TSUPREM-Ⅳ。

主 题 词：集成电路 计算机模拟 工艺仿真系统 TSUPREM-Ⅳ 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2000.03.010

馆 藏 号：203626882...