基于LabVIEW的温控系统

作     者：鄢志丹 孙立东 胡春光 胡小唐 P.Zeppenfeld YAN Zhi-dan;SUN Li-dong;HU Chun-guang;HU Xiao-tang;P.Zeppenfeld

作者机构：中国石油大学(华东)信息与控制工程学院山东青岛266580 林茨大学实验物理研究所原子与表面科学系奥地利A-4040 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金青年基金(11104354) 青岛市科技发展计划项目(12-1-4-7-(5)-jch) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2012年第9期

页      码：13-14,42页

摘      要：衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素。针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环境下的温控系统应用软件设计思路,该应用软件通过VISA接口与精密温度控制仪进行数据通信,依据其内置的PID控制算法,实现温度控制。测试试验表明:该系统具体良好的恒温效果,能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求,具有很高的实用价值。

主 题 词：温控系统 LabVIEW 串行通信 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2012.09.005

馆 藏 号：203627104...