纳米时栅传感器数字信号处理系统设计

作     者：于治成 郑方燕 冯济琴 蒲红吉 凌旭 YU Zhicheng;ZHENG Fangyan;FENG Jiqin;PU Hongji;LING Xu

作者机构：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室重庆400054 

基　　金：国家自然科学基金项目(51175534) 重庆市教委科学技术研究项目(KJ130816) 重庆理工大学研究生创新基金项目(YCX2013213) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2013年第26卷第11期

页      码：1548-1551页

摘      要：针对大量程纳米级精度测量难的问题,结合时栅传感器的基本原理,提出一种基于交变电场耦合的纳米时栅传感器。利用Nutt内插法对影响时栅精度的关键因素—时间量进行精密测量,降低了系统对插补脉冲频率的要求,提高了测量分辨率。采用SOPC技术设计纳米时栅信号处理系统,保证了系统高性能实时测量。实验结果表明,该系统能稳定正常工作,在行程200 mm测量范围内,纳米时栅误差峰峰值为590 nm。

主 题 词：纳米测量 时栅 内插法 可编程片上系统 信号处理 

学科分类：0810[工学-土木类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 081002[081002] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2013.11.015

馆 藏 号：203627632...