调幅式电容位移传感器开关检波电路设计

作     者：冯佳 李佩玥 徐立松 尹志生 隋永新 FENG Jia;LI Pei-yue;XU Li-song;YIN Zhi-sheng;SUI Yong-xin

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100039 

基　　金：国家科技重大专项02专题项目(2009ZX02205) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2015年第34卷第5期

页      码：85-87,91页

摘      要：针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明：检波电路可以实现0.1 m V的分辨率,测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1 m V/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。

主 题 词：电容位移传感器 调幅 交流激励 检波电路 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2015)05-0085-03

馆 藏 号：203628315...