利用表面微结构提高波长上转换红外探测器效率

作     者：王超 郝智彪 王磊 康健彬 谢莉莉 罗毅 汪莱 王健 熊兵 孙长征 韩彦军 李洪涛 王禄 王文新 陈弘 Wang Chao;Hao Zhi-Biao;Wang Lei;Kang Jian-Bin;Xie Li-Li;Luo Yi;Wang Lai;Wang Jian;Xiong Bing;Sun Chang-Zheng;Han Yan-Jun;Li Hong-Tao;Wang Lu;Wang Wen-Xin;Chen Hong

作者机构：清华大学电子工程系清华信息科学与技术国家实验室北京100084 中国科学院物理研究所北京100190 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB632804,2012CB315605) 国家自然科学基金(批准号:61176015,61210014,51002085,61321004,61307024,61176059) 国家高技术研究发展计划(批准号2015AA017101)资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2016年第65卷第10期

页      码：319-324页

摘      要：波长上转换红外探测器具有实现大面阵焦平面的优势,但光提取效率是制约器件整体效率的关键因素之一.本文主要研究利用表面微结构来提高波长上转换红外探测器的效率.首先通过仿真计算研究了表面微结构参数对光提取效率的影响,然后基于优化设计的参数,采用聚苯乙烯纳米球掩膜刻蚀的方法制作了具有圆台型表面微结构的波长上转换红外探测器.测试结果表明,具有表面微结构的器件的光提取效率比无表面微结构的器件提高了130%.本文制作表面微结构的方法可以实现波长上转换红外探测器件整体效率的提高.

主 题 词：波长上转换 表面微结构 纳米球 光提取效率 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.65.108501

馆 藏 号：203628712...