掠入射X射线显微镜反射率分析

作     者：赵玲玲 胡家升 ZHAO Ling-ling;HU Jia-sheng

作者机构：大连理工大学电子与信息工程学院辽宁大连116024 

基　　金：国家"863"重点计划资助项目(2004AA843170) 

出 版 物：《大连理工大学学报》 (Journal of Dalian University of Technology)

年 卷 期：2006年第46卷第4期

页      码：469-472页

摘      要：X射线掠入射显微镜的反射率除了与掠入射角有关之外,还与反射表面的粗糙度密切相关.以设计的非共轴掠入射KBA X射线显微镜系统为例,讨论了掠入射下X射线从金属表面和单层膜表面反射的两种情况.分析了波长为0.83 nm时,表面均方粗糙度(RM S)对反射率的影响,并计算了该系统的X射线反射率.分析结果表明RM S增大,反射率会降低;无氧铜的反射率为0.021,单层膜的反射率为0.049,因此KBA X射线显微镜可采用镀单层膜的方法加工.

主 题 词：X射线成像 掠入射 表面粗糙度 反射率 

学科分类：0810[工学-土木类] 070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-8608.2006.04.001

馆 藏 号：203632751...