单片集成MSM/HEMT长波长光接收机

作     者：敖金平 曾庆明 赵永林 李献杰 蔡克理 刘式墉 梁春广 AO Jin-ping;ZENG Qing-ming;ZHAO Yong-lin;LI Xian-jie;CAI Ke-li;LIU Shi-yong;LIANG Chun-guang

作者机构：河北半导体研究所石家庄050051 吉林大学电子工程系长春130023 

基　　金：国家"八六三"计划资助项目![863 -3 0 7-0 6-0 2 ( 0 3 ) ] 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2000年第11卷第3期

页      码：241-243页

摘      要：本文介绍了利用 In Ga As金属 -半导体 -金属 (MSM)长波长光探测器与 In Al As- In Ga As高电子迁移率晶体管 (HEMT)单片集成来实现长波长光接收机的材料和电路设计、工艺途径等研究工作 ,基本解决了两种器件集成的工艺兼容性的问题 ,实现了 1.3Gb/ s传输速率的单片集成长波长光接收机样品。

主 题 词：MSM光探测器 光接收机 长波长 光集成电路 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1005-0086.2000.03.008

馆 藏 号：203632979...