基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究

作     者：张波 肖立伊 付方发 

作者机构：哈尔滨工业大学微电子中心黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2012RFXXG042) 

出 版 物：《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)

年 卷 期：2012年第29卷第12期

页      码：140-144页

摘      要：提出了一种新颖的、更加通用的环形栅器件版图等效宽度提取方法,用于解决目前商用SPICE模型中版图宽度提取方法不适用于环形栅器件这一问题.该方法基于环形栅中沟道电场分布特性,可用于提取多种形状环形栅版图宽度.提出了SPICE模型中模型参数的修改方法,使SPICE环形栅器件模型仿真更为精准.通过TCAD(计算机辅助设计)等多种仿真途径对该模型进行验证,结果表明该模型具有较高的精确度.

主 题 词：环形栅 电场分布 等效宽度 SPICE模型 TCAD 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2012.12.033

馆 藏 号：203634647...