基于机械放大式机构的新型纳米位移传感器设计

作     者：李正伟 余永 吴倩 葛运建 

作者机构：中国科学院合肥智能机械研究所安徽合肥230031 中国科学技术大学自动化系安徽合肥230026 鹿儿岛大学科学工程研究院 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(6063540) 

出 版 物：《仪表技术》 (Instrumentation Technology)

年 卷 期：2012年第11期

页      码：51-54页

摘      要：为了能有效地检测PZT驱动器纳米级的驱动位移,文章提出一种采用基于柔性铰链的多级杠杆放大原理的新型纳米位移传感器。与前三代纳米位移传感器相比,新型传感器采用差动结构以及圆筒状的外形,传感器的这种独特结构赋予其较大的机械放大比;同时,建立了其理想数学模型并计算了机械放大比。为了证明传感器的有效性,对其进行了有限元仿真分析。分析结果表明新型纳米位移传感器具有较大的应变输出,且其位移分辨率将小于3 nm。

主 题 词：纳米位移传感器 柔性铰链 圆柱状 差动结构 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.19432/j.cnki.issn1006-2394.2012.11.017

馆 藏 号：203634964...