一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试

作     者：高冬晖 秦明 程海洋 朱昊 GAO Donghui;QIN Ming;CHENG Haiyang;ZHU Hao

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052) 国家自然科学基金项目(60476019) 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2006年第26卷第1期

页      码：96-99,110页

摘      要：给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因此不存在速度量程问题；同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向，风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试，风速的测量可以达到23m／s，风速分辨率达到0．5m／s，风速的最大误差为0．5m／s。传感器的反应时间为3～5秒，整个功率损耗约为50mW。

主 题 词：二维风速传感器 风向传感器 恒温差模式 互补金属氧化物半导体工艺 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-3819.2006.01.022

馆 藏 号：203639846...