水银微流体惯性开关的制作与测试

作     者：徐媛 杨涛 蔺怡 刘婷婷 陈光焱 王超 XU Yuan;YANG Tao;LIN Yi;LIU Ting-ting;CHEN Guang-yan;WANG Chao

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

基　　金：国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024) 四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038) 四川省教育厅重大培育项目(11ZA216) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2013年第32卷第5期

页      码：114-117页

摘      要：针对传统微机械"固—固"型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中的流动来实现通断的微流体惯性开关。利用阳极键合和DRIE技术制作了开关微通道,采用溅射沉积方式沉积了Cr金属薄膜,分别通过离心转台和加速度传感器测试了开关的准静态阈值和冲击阈值,实验测试结果分别为8.525,5.09 gn。实验结果表明:冲击阈值较准静态阈值小。

主 题 词：惯性开关 微流体 微机械加工 准静态阈值 冲击阈值 测试 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2013.05.034

馆 藏 号：203642733...