GaAs晶体提拉及旋转系统的设计分析

作     者：刘小云 陈忠孝 王玉林 

作者机构：西安理工大学图学系陕西西安710048 西安工业学院陕西西安710000 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2003年第32卷第4期

页      码：56-58页

摘      要：用新技术对大直径GaAs晶体生长炉的提拉及旋转系统进行设计,并对系统结构、运动精度进行综合分析。

主 题 词：提拉装置 滚动导轨 变形量 

学科分类：080603[080603] 08[工学] 0806[工学-电气类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2003.04.017

馆 藏 号：203644471...